メガ東海のメンテナンス日記　　ＴＥＬ０５４－６６２

メカニカルブースターポンプの冷却水ライン

今大阪真空製メカニカルブースターポンプをオーバーホールさせていただいています。

大阪真空製はポンプが頑固にできています。

主の部品が重い、重い。

ローターは軽いのですが。

そして他のポンプに対して部品点数が少ない。

そんなイメージが個人的に有ります。

オーバーホールのご依頼。

こちら冷却水のラインが詰まりかけていました。

錆と水のカスですかね。

危うく水が通らなくなるところでしたね。

Posted by megatki at 08:40 │Comments(0)

真空ポンプの油回転ポンプはオイルを貯めておくためのタンクを持っています。

大きいポンプになると５０Ｌほど入るものもあります。

本体とタンクが一体型になっているものもあれば別になっているものもあります。

それぞれ利点はあります。

性能にはあまり影響はしません。

今回はタンク一体でないものです。

オイルが排気と一緒に外部に出ないために板が重なりあって作られています。

水がたまったりもする為錆で掘れてしまいっているところもあります。

錆とオイルカスがたまっていました。

除去してきれいにします。

次の定期メンテを行っていただくとこのぐらいで済み、

ポンプを長く使えるようになりますが、

壊れてから修理というメンテナンスだと

寿命は短くなります。

Posted by megatki at 09:35 │Comments(0)

電磁弁

ロータリーポンプにはポンプ内に油が大量に入っています。

油回転真空ポンプという名前がつけられる暗い油が多く入っています。

油と一緒に空気を排出するためです。

ポンプによって違いはありますが、電気で作動する電磁弁がつけられているものもあります。

ＯＨ時には内部洗浄、状態によっては交換します。

洗浄などしないと

油の塊などで油の通る量がすくなって真空の上りが悪くなる原因にもなります。

Posted by megatki at 09:16 │Comments(0)

モーターの結線

真空ポンプにはモーターが搭載されています。

1つの架台にポンプが２つ有り、1個のモーターで2台稼働させている省エネ仕様も有りますが、

基本的には1台に1個のモーター。

モーターをはずす機会が多い為、電気の線もはずす機会が多いです。

１００Ｖは２本の線、２００Ｖの３相になると３本線。

大型ポンプは２００Ｖが多い為３本線が多いかなと思います。

小さいポンプは手軽に１００Ｖコンセントでいけるものも多く有ります。

１００Ｖはコンセント向きどちらでも回転方向は同じになるようになっていますが、

3相２００ｖは線を間違えると逆に回るため、注意が必要。

逆に周り続けるとポンプ壊れます。

線の色を同じにしても逆に回ることもある。

Posted by megatki at 09:49 │Comments(0)

ルーツ型真空ポンプＯＨ２

メカニカルブースターポンプには2個のローターがあり、

わずかな隙間を保って高速で回転しています。

通常回転速度は1分間に１５００回転くらい。

早いものだと倍くらいの速度が有ります。

2個のローターの隙間を正確に保つに部品としてギヤがあります。

この部品の噛み合わせが狂うとローター同士がぶつかります。

ヘリカルギヤなので組み方間違えてもぶつかります、、、

Posted by megatki at 09:45 │Comments(0)

ルーツ型真空ポンプＯＨ

ルーツ型真空ポンプ

ブロアも同じですが、

ひょうたん型のローターがわずかな隙間を保ちながら高速で回転して空気を吐き出したり送るポンプです。

メーカーそれぞれ特徴があります。

頑固に頑丈に作られているもの。

アルミで作られていて軽いもの。

バイパスバルブを持っているものなどなど。

こちらは3つの部屋を同じ圧力にするための口

これも内部に有ったり外に有ったりといろいろ

メカニカルブースターポンプオーバーホールなかなか奥が深いです。

Posted by megatki at 09:33 │Comments(0)

架台制作

私たち、真空ポンプの修理や真空機器だけではないです。

関連しているといえばそうですが、、、

ポンプをのせる架台、チャンバーをのせる架台なども制作します。

その関係から今回はトラックの荷台に乗せる機械の架台の制作をしています。

大きさは、、、大きい

重さは、、、重い

溶接個所が多いですね。

これは頑丈。

先日錆止め塗装まで行いました。

天井クレーンで吊ったまま乾燥

制作のご希望あればご連絡お待ちしております。

他社さんより安くできると思いますよ♪

Posted by megatki at 09:16 │Comments(0)

オーバーホールのご相談

おととい

初めてのお客様から

お電話にてメカニカルブースターポンプのオーバーホールのご相談でお電話をいただきました。

先日

実際に工場の方に来ていただいてお話をさせていただくことができました。

神奈川から遠いところ足を運んでいただきありがとうございます。

来ていただいた方は関東で海外製の真空ポンプなどを販売、修理している会社の営業の方でした。

お客様の装置の真空ポンプが日本のメーカーの物で

取り外し～取り付け、テストまでお願いできるかというお話でした。

場所は東京とのこと。

遠い場所でも交通費をいただければ

基本的にはＯＫ、取り付け、取り外しもテストもＯＫです。

と

お話させていただきました。

遠いお客様から良くお電話いただきます。

ポンプの取りついている写真などいただければ

取り外しなどの作業も見積もりさせていただきます。

Posted by megatki at 10:43 │Comments(0)

リーク調査

真空装置で困るのが真空度が目標まで達しない。

主な原因はいくつかありますが、1つがリーク。

漏れですよね。

リークの個所を調べるにも方法はいくつかありますが、

手っとり早いのがリークディテクターという機械を使う方法。

真空装置に取り付け、ヘリウムをかけていき反応の出たところがリーク個所というもの。

それでも判断難しい場合もあります。

根気よく治さないと治らないのが真空装置。

リークでお困りでしたら調査にお伺いします。

Posted by megatki at 09:06 │Comments(0)

メカニカルブースターポンプＣ２５オーバーホール完了

メカニカルブースターポンプのＣ２５

オーバーホール作業完了です。

これから３日ほど試運転を行います。

試運転では真空度を計測

リークディテクターで漏れ検査を行います。

リークディテクターはヘリウムを吸わせて機械で検知させるため、

ほんの小さな漏れでも値で出てくるため確実です。

Posted by megatki at 09:23 │Comments(0)

神港精機GLD-600　オーバーホール

神港精機のロータリーポンプ

ＧＬＤ－６００を出張オーバーホールさせていただきました。

小さい機種には小さなパーツが多く、なかなか間違えやすいものです。

研究で使われているポンプでしたのでいろいろなものを吸引して内部が

刺激的な匂いがしていました。

すべて汚れを取り除き、

組み上げ完了です。

装置につなぎ、リークディテクターにて漏れ検査行い、真空度確認し、完全完了です。

Posted by megatki at 09:22 │Comments(0)

メカニカルブースターポンプ　C25　オーバーホール

先日引き上げさせていただいた

神港精機の真空ポンプ

メカニカルブースターポンプのＣ２５のオーバーホールさせていただいています。

部品納入に時間がかかりました。

Ｃ２５はＳＭＢ２５００の後継機です。

ＳＭＢ２５００は大きく重い！！

Ｃ２５は小さく軽い！！

細かいところまでは説明しませんが

いろいろなところでなるほどねーと思う点が多々あります。

すべて分解。

神港精機のメカニカルブースターポンプ良くオーバーホールさせていただいています。
ＳＭＢ６００
ＳＭＢ１５００
ＳＭＢ２５００
ＳＭＢ５０００
Ｃ１５
Ｃ２５
など

Posted by megatki at 09:22 │Comments(0)

ケーシング

ライボルトのＳＶ３００のケーシングです。

排気口のある個所はベーンが他の部分に対して削れないため

ベーンがだんだんと段差ができてきて、

ケーシングを削っていってしまいます。

削れて行くと隙間が大きくなるため真空の性能は落ちますが

まだ問題になるほどではないため、研磨してそのまま組みます。

テストで問題あれば考えなきゃかな。

排気弁も装着し、組み上げ先日取り付けに行かせていただきました。

Posted by megatki at 08:38 │Comments(0)

拡散ポンプ冷却パイプ修理

真空ポンプの中で高真空を得るためのポンプで拡散ポンプというポンプがあります。

一見ポンプには見えません。

知らない人が見れば、

「なにこれ？？」

です。

このポンプは外周を冷やさなければいけないので冷却パイプが巻いてあります。

そのパイプは冷却性能を高めるためにケーシングに接着されています。

銅のパイプで巻いてあることが大半なので腐食で穴があいて水漏れを起こすことがたびたびあります。

今回はぞの水漏れ修理をさせていただきました。

銅パイプに穴があいたので、

リークチェッカーで場所を特定。

ステンレスで部品を作っておいたので

ダメな部分を切り離し、新しいステンレスの部品をロウ付けします。

場所がかなり熱のかかる場所でしたのでしっかりとケーシングに接着して、水を流して

漏れのないことを確認し、

更に拡散ポンプでリークがないか確認し完了。

Posted by megatki at 08:56 │Comments(0)

簡単な旋盤加工

専門職ではありませんが簡単な旋盤加工も行います。

お客様からお金をもらってやることはあまりありませんが、

自分たちの道具をお直したり、補修する際に削ったりとします。

今回はステンレスの水の継手を銅パイプの中に入れてロウ付けしたかったため、

銅の内径に合わせて継手のネジ部分を削り落して径を合わせています。

引き続き来週はメカニカルブースターポンプのＯＨ2台と

ロータリーポンプのオーバーホールが待ち受けております。

Posted by megatki at 08:39 │Comments(0)

真空ポンプオイル劣化

真空ポンプの油回転真空ポンプ。

油回転真空ポンプは油と一緒に気体を排出します。

油はタンクに戻り、空気は排出されていきます。

吸引した空気にはいろいろなものが混じっています。

水蒸気だったり、いろいろな気体であったり。

その吸い込む気体によっては油に混じり悪さをすることがあります。

典型的なものは水で、

水が油に混じると真空度が悪くなってしまいます。

今回はそれ以外の物が混じって劣化してしまったようで

油が固まってしまっていました。

配管の中でも詰まってしまっていました。

配管を取り換えれば早いですが、金額が高い為

ユーザーの負担にならないように

内部をきれいにします。

Posted by megatki at 08:53 │Comments(0)

DC電源　アドバンスエナジーのMDX修理

私たちは自分たちもスパッタリング装置を持ち

スパッタリングの作業をしています。

スパッタリングの電源であるＤＣ電源があります。

これが年代物の為良く壊れます。

そのたびに基盤を分解して修理します。

先週末もパーンという大きな音とともに電源は入るが

電流が流れない症状になりました。

予備機が一台あるのでそこまで急を要さないですが

気になるので

「またかー」の感じでカバーを取りはずし始めました。

怪しい部分に到達し確認すると、

「はやりな、、、」

いつも壊れる部品はすべてストックしてあるので

交換し組み上げてテスト作動。

ん、、、、

動かない

ん、、、

これか！！

基盤を組み直して完成！！

無事スパッタできるようになりました。

Posted by megatki at 10:29 │Comments(0)

真空ポンプやその他のポンプでお困りであれば電話をいただければ

できる限り早くお伺いし見させていただきます。

ＯＨをお考えであればメールいただければお見積りさせていただきます。

Posted by megatki at 09:45 │Comments(0)

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