2018年11月08日

ロータリーポンプ出張オーバーホール

島津製作所製の小型ロータリーポンプを出張オーバーホールさせていただきました。

ロータリーポンプ始動時にサーマルが飛んでしまうとのことで急遽ご連絡いただきました。

おそらく内部はオイルなどの塊があるのだろうと予想していました。

展開して予想以上の積り方でした。




清掃に大半の時間を取られた整備でした。

無事に予定していた日数で完了しました。

長らくオーバーホールしていなかったとのことでしたので

定期的なOHをお勧めします。

  


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2018年10月26日

排気弁

ポンプには弁が付いています。

なぜ弁が付いていいるかというと効率的に排出するためです。


弁がないと逆流してうまく排出できないです。

真空ポンプにも排気弁というものがあります。

ロータリーポンプは大体板状の物が多いですね。

ちなみに車のエンジンなどはバルブという三角フラスコをスリムにしたような形状。

オーバーホールしないで使い続けるとこの部品は疲労で割れます。

定期的な部品交換は大切ですね。

  


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2018年10月25日

メカニカルブースターポンプの冷却水ライン

今大阪真空製メカニカルブースターポンプをオーバーホールさせていただいています。

大阪真空製はポンプが頑固にできています。

主の部品が重い、重い。

ローターは軽いのですが。

そして他のポンプに対して部品点数が少ない。

そんなイメージが個人的に有ります。

オーバーホールのご依頼。


こちら冷却水のラインが詰まりかけていました。


錆と水のカスですかね。


危うく水が通らなくなるところでしたね。



  


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2018年10月23日

ロータリーポンプオイルタンク内汚れ

真空ポンプの油回転ポンプはオイルを貯めておくためのタンクを持っています。

大きいポンプになると50Lほど入るものもあります。

本体とタンクが一体型になっているものもあれば別になっているものもあります。

それぞれ利点はあります。

性能にはあまり影響はしません。

今回はタンク一体でないものです。

オイルが排気と一緒に外部に出ないために板が重なりあって作られています。

水がたまったりもする為錆で掘れてしまいっているところもあります。

錆とオイルカスがたまっていました。



除去してきれいにします。

次の定期メンテを行っていただくとこのぐらいで済み、

ポンプを長く使えるようになりますが、

壊れてから修理というメンテナンスだと

寿命は短くなります。

  


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2018年10月22日

電磁弁

ロータリーポンプにはポンプ内に油が大量に入っています。

油回転真空ポンプという名前がつけられる暗い油が多く入っています。

油と一緒に空気を排出するためです。

ポンプによって違いはありますが、電気で作動する電磁弁がつけられているものもあります。

OH時には内部洗浄、状態によっては交換します。


洗浄などしないと

油の塊などで油の通る量がすくなって真空の上りが悪くなる原因にもなります。

  


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2018年10月16日

モーターの結線

真空ポンプにはモーターが搭載されています。

1つの架台にポンプが2つ有り、1個のモーターで2台稼働させている省エネ仕様も有りますが、

基本的には1台に1個のモーター。

モーターをはずす機会が多い為、電気の線もはずす機会が多いです。

100Vは2本の線、200Vの3相になると3本線。

大型ポンプは200Vが多い為3本線が多いかなと思います。

小さいポンプは手軽に100Vコンセントでいけるものも多く有ります。

100Vはコンセント向きどちらでも回転方向は同じになるようになっていますが、

3相200vは線を間違えると逆に回るため、注意が必要。

逆に周り続けるとポンプ壊れます。

線の色を同じにしても逆に回ることもある。


  


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2018年10月15日

ルーツ型真空ポンプOH2

メカニカルブースターポンプには2個のローターがあり、

わずかな隙間を保って高速で回転しています。

通常回転速度は1分間に1500回転くらい。

早いものだと倍くらいの速度が有ります。

2個のローターの隙間を正確に保つに部品としてギヤがあります。

この部品の噛み合わせが狂うとローター同士がぶつかります。

ヘリカルギヤなので組み方間違えてもぶつかります、、、

  


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2018年10月13日

ルーツ型真空ポンプOH

ルーツ型真空ポンプ

ブロアも同じですが、

ひょうたん型のローターがわずかな隙間を保ちながら高速で回転して空気を吐き出したり送るポンプです。

メーカーそれぞれ特徴があります。

頑固に頑丈に作られているもの。

アルミで作られていて軽いもの。

バイパスバルブを持っているものなどなど。

こちらは3つの部屋を同じ圧力にするための口


これも内部に有ったり外に有ったりといろいろ


メカニカルブースターポンプオーバーホールなかなか奥が深いです。  


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2018年10月12日

架台制作

私たち、真空ポンプの修理や真空機器だけではないです。

関連しているといえばそうですが、、、

ポンプをのせる架台、チャンバーをのせる架台なども制作します。

その関係から今回はトラックの荷台に乗せる機械の架台の制作をしています。

大きさは、、、大きい

重さは、、、重い

溶接個所が多いですね。

これは頑丈。


先日錆止め塗装まで行いました。

天井クレーンで吊ったまま乾燥



制作のご希望あればご連絡お待ちしております。

他社さんより安くできると思いますよ♪  


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2018年10月11日

オーバーホールのご相談

おととい

初めてのお客様から

お電話にてメカニカルブースターポンプのオーバーホールのご相談でお電話をいただきました。

先日

実際に工場の方に来ていただいてお話をさせていただくことができました。

神奈川から遠いところ足を運んでいただきありがとうございます。



来ていただいた方は関東で海外製の真空ポンプなどを販売、修理している会社の営業の方でした。

お客様の装置の真空ポンプが日本のメーカーの物で

取り外し~取り付け、テストまでお願いできるかというお話でした。

場所は東京とのこと。

遠い場所でも交通費をいただければ

基本的にはOK、取り付け、取り外しもテストもOKです。



お話させていただきました。

遠いお客様から良くお電話いただきます。

ポンプの取りついている写真などいただければ

取り外しなどの作業も見積もりさせていただきます。
  


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2018年10月09日

リーク調査

真空装置で困るのが真空度が目標まで達しない。

主な原因はいくつかありますが、1つがリーク。

漏れですよね。

リークの個所を調べるにも方法はいくつかありますが、

手っとり早いのがリークディテクターという機械を使う方法。

真空装置に取り付け、ヘリウムをかけていき反応の出たところがリーク個所というもの。

それでも判断難しい場合もあります。

根気よく治さないと治らないのが真空装置。

リークでお困りでしたら調査にお伺いします。

  


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2018年10月05日

メカニカルブースターポンプC25オーバーホール完了

メカニカルブースターポンプのC25

オーバーホール作業完了です。

これから3日ほど試運転を行います。

試運転では真空度を計測

リークディテクターで漏れ検査を行います。

リークディテクターはヘリウムを吸わせて機械で検知させるため、

ほんの小さな漏れでも値で出てくるため確実です。



  


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2018年10月04日

神港精機GLD-600 オーバーホール

神港精機のロータリーポンプ

GLD-600を出張オーバーホールさせていただきました。

小さい機種には小さなパーツが多く、なかなか間違えやすいものです。



研究で使われているポンプでしたのでいろいろなものを吸引して内部が

刺激的な匂いがしていました。


すべて汚れを取り除き、

組み上げ完了です。

装置につなぎ、リークディテクターにて漏れ検査行い、真空度確認し、完全完了です。

  


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2018年10月03日

メカニカルブースターポンプ C25 オーバーホール

先日引き上げさせていただいた

神港精機の真空ポンプ

メカニカルブースターポンプのC25のオーバーホールさせていただいています。

部品納入に時間がかかりました。

C25はSMB2500の後継機です。

SMB2500は大きく重い!!

C25は小さく軽い!!

細かいところまでは説明しませんが

いろいろなところでなるほどねーと思う点が多々あります。


すべて分解。


神港精機のメカニカルブースターポンプ良くオーバーホールさせていただいています。
SMB600
SMB1500
SMB2500
SMB5000
C15
C25
など




  


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2018年10月02日

ケーシング

ライボルトのSV300のケーシングです。


排気口のある個所はベーンが他の部分に対して削れないため

ベーンがだんだんと段差ができてきて、

ケーシングを削っていってしまいます。

削れて行くと隙間が大きくなるため真空の性能は落ちますが

まだ問題になるほどではないため、研磨してそのまま組みます。

テストで問題あれば考えなきゃかな。

排気弁も装着し、組み上げ先日取り付けに行かせていただきました。
  


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2018年09月28日

拡散ポンプ冷却パイプ修理

真空ポンプの中で高真空を得るためのポンプで拡散ポンプというポンプがあります。

一見ポンプには見えません。

知らない人が見れば、

「なにこれ??」

です。

このポンプは外周を冷やさなければいけないので冷却パイプが巻いてあります。

そのパイプは冷却性能を高めるためにケーシングに接着されています。

銅のパイプで巻いてあることが大半なので腐食で穴があいて水漏れを起こすことがたびたびあります。

今回はぞの水漏れ修理をさせていただきました。

銅パイプに穴があいたので、

リークチェッカーで場所を特定。


ステンレスで部品を作っておいたので

ダメな部分を切り離し、新しいステンレスの部品をロウ付けします。


場所がかなり熱のかかる場所でしたのでしっかりとケーシングに接着して、水を流して

漏れのないことを確認し、

更に拡散ポンプでリークがないか確認し完了。

  


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2018年09月26日

簡単な旋盤加工

専門職ではありませんが簡単な旋盤加工も行います。

お客様からお金をもらってやることはあまりありませんが、

自分たちの道具をお直したり、補修する際に削ったりとします。

今回はステンレスの水の継手を銅パイプの中に入れてロウ付けしたかったため、

銅の内径に合わせて継手のネジ部分を削り落して径を合わせています。



引き続き来週はメカニカルブースターポンプのOH2台と

ロータリーポンプのオーバーホールが待ち受けております。  


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2018年09月25日

真空ポンプオイル劣化

真空ポンプの油回転真空ポンプ。

油回転真空ポンプは油と一緒に気体を排出します。

油はタンクに戻り、空気は排出されていきます。

吸引した空気にはいろいろなものが混じっています。

水蒸気だったり、いろいろな気体であったり。

その吸い込む気体によっては油に混じり悪さをすることがあります。

典型的なものは水で、

水が油に混じると真空度が悪くなってしまいます。

今回はそれ以外の物が混じって劣化してしまったようで

油が固まってしまっていました。




配管の中でも詰まってしまっていました。

配管を取り換えれば早いですが、金額が高い為

ユーザーの負担にならないように

内部をきれいにします。


  


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2018年09月24日

DC電源 アドバンスエナジーのMDX修理

私たちは自分たちもスパッタリング装置を持ち

スパッタリングの作業をしています。

スパッタリングの電源であるDC電源があります。

これが年代物の為良く壊れます。

そのたびに基盤を分解して修理します。

先週末もパーンという大きな音とともに電源は入るが

電流が流れない症状になりました。


予備機が一台あるのでそこまで急を要さないですが

気になるので

「またかー」の感じでカバーを取りはずし始めました。

怪しい部分に到達し確認すると、

「はやりな、、、」




いつも壊れる部品はすべてストックしてあるので

交換し組み上げてテスト作動。

ん、、、、

動かない

ん、、、

これか!!

基盤を組み直して完成!!

無事スパッタできるようになりました。  


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2018年09月21日

メカニカルブースターポンプオーバーホール続き

分解したメカニカルブースターポンプの内部の部品とカバーの内側

かなり黒く汚れが付いています。

溶剤で洗浄すれば取れますが、これが堆積すると不具合の原因にもなってきます。

こちらの品物は定期的にOHしていただいているので良い状態を保てています。




  


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