メガ東海のメンテナンス日記　　ＴＥＬ０５４－６６２－０８７０

私たちは自分たちもスパッタリング装置を持ち

スパッタリングの作業をしています。

スパッタリングの電源であるＤＣ電源があります。

これが年代物の為良く壊れます。

そのたびに基盤を分解して修理します。

先週末もパーンという大きな音とともに電源は入るが

電流が流れない症状になりました。


予備機が一台あるのでそこまで急を要さないですが

気になるので

「またかー」の感じでカバーを取りはずし始めました。

怪しい部分に到達し確認すると、

「はやりな、、、」




いつも壊れる部品はすべてストックしてあるので

交換し組み上げてテスト作動。

ん、、、、

動かない

ん、、、

これか！！

基盤を組み直して完成！！

無事スパッタできるようになりました。