メガ東海のメンテナンス日記　　ＴＥＬ０５４－６６２－０８７０

真空ポンプの中で高真空を得るためのポンプで拡散ポンプというポンプがあります。

一見ポンプには見えません。

知らない人が見れば、

「なにこれ？？」

です。

このポンプは外周を冷やさなければいけないので冷却パイプが巻いてあります。

そのパイプは冷却性能を高めるためにケーシングに接着されています。

銅のパイプで巻いてあることが大半なので腐食で穴があいて水漏れを起こすことがたびたびあります。

今回はぞの水漏れ修理をさせていただきました。

銅パイプに穴があいたので、

リークチェッカーで場所を特定。


ステンレスで部品を作っておいたので

ダメな部分を切り離し、新しいステンレスの部品をロウ付けします。


場所がかなり熱のかかる場所でしたのでしっかりとケーシングに接着して、水を流して

漏れのないことを確認し、

更に拡散ポンプでリークがないか確認し完了。

  

専門職ではありませんが簡単な旋盤加工も行います。

お客様からお金をもらってやることはあまりありませんが、

自分たちの道具をお直したり、補修する際に削ったりとします。

今回はステンレスの水の継手を銅パイプの中に入れてロウ付けしたかったため、

銅の内径に合わせて継手のネジ部分を削り落して径を合わせています。



引き続き来週はメカニカルブースターポンプのＯＨ2台と

ロータリーポンプのオーバーホールが待ち受けております。  

真空ポンプの油回転真空ポンプ。

油回転真空ポンプは油と一緒に気体を排出します。

油はタンクに戻り、空気は排出されていきます。

吸引した空気にはいろいろなものが混じっています。

水蒸気だったり、いろいろな気体であったり。

その吸い込む気体によっては油に混じり悪さをすることがあります。

典型的なものは水で、

水が油に混じると真空度が悪くなってしまいます。

今回はそれ以外の物が混じって劣化してしまったようで

油が固まってしまっていました。




配管の中でも詰まってしまっていました。

配管を取り換えれば早いですが、金額が高い為

ユーザーの負担にならないように

内部をきれいにします。


  

私たちは自分たちもスパッタリング装置を持ち

スパッタリングの作業をしています。

スパッタリングの電源であるＤＣ電源があります。

これが年代物の為良く壊れます。

そのたびに基盤を分解して修理します。

先週末もパーンという大きな音とともに電源は入るが

電流が流れない症状になりました。


予備機が一台あるのでそこまで急を要さないですが

気になるので

「またかー」の感じでカバーを取りはずし始めました。

怪しい部分に到達し確認すると、

「はやりな、、、」




いつも壊れる部品はすべてストックしてあるので

交換し組み上げてテスト作動。

ん、、、、

動かない

ん、、、

これか！！

基盤を組み直して完成！！

無事スパッタできるようになりました。  

分解したメカニカルブースターポンプの内部の部品とカバーの内側

かなり黒く汚れが付いています。

溶剤で洗浄すれば取れますが、これが堆積すると不具合の原因にもなってきます。

こちらの品物は定期的にＯＨしていただいているので良い状態を保てています。




  

真空ポンプのメカニカルブースターポンプという

車で言うスーパーチャージャーみたいなものがあります。

ルーツポンプとも言います。

このポンプは調整が細かく必要で

シクネスゲージを使って

０．０１単位で調整します。

許容範囲はありますが、、、

部品点数も多いので経験が必要です。

業者さんによっては1つの壁をはずさないこともあります。

はずさなくても作業はできますが、隅々までの掃除などができませんのですべて取り外します。


  

先日は真空ポンプで異常があるとのことお客様に連絡をもらい引き上げに行かせていただきました。

午前中は引き上げ作業を行わせていただき、

午後は引き上げたポンプのことを調べながら

別の真空ポンプのロータリーポンプをオーバーホールさせていただきました。

オイルが汚れる為オイルゲージも汚れてしまいます。


オイルゲージの向こう側は大体白く塗装された背面になっています。

オイルゲージをはずして白く塗装し直して組みます。

新品の排気弁を取り付けリフレッシュ。


真空ポンプやその他のポンプでお困りであれば電話をいただければ

できる限り早くお伺いし見させていただきます。

ＯＨをお考えであればメールいただければお見積りさせていただきます。



  

先日すべて分解し清掃した部品を組んでいきます。


真空ポンプは同じような部品が数多くあります。

1個向きを間違えたり、組み方を間違えると

性能はでなく、最悪破損します。

ポンプの動きを理解してないと少し難しいかなと思います。

下手にアイマークをつけるとクリアランスが狂って金属がこすれて破損、なんてことも考えられます。

向きなどには注意し、2人で確認し確実に組み上げます。


  

真空ポンプの中の油回転真空ポンプ（ロータリーポンプ）のシャフト抜き作業

抜く方法はポンプによっていろいろありますが

そのポンプごとで治具を作るんです。

メーカーはすべて良いものがそろっているんでしょうね（汗）

正直1回しか使っていないもの

山になっています。

すべてポンプの刻印を打って保管していますが

ある残り材料で時短でこしらえるので見た目は悪いです（笑）

さー、シャフトも抜けたのできれいにして組み込みます。


このポンプは丸山真空のロータリーポンプです。

  

真空ポンプがロックしてしまって動かなくなってしまったとご連絡いただき

引き揚げさせていただきました。

工場にて展開してみると

ケーシング内部のオイルが、、、

ドロドロ

コーラ色の水あめかなっぐらい



交換すべき部品は交換。

洗浄で使える部品は時間をかけて洗浄。

時間はかかりますが部品代がかからず

お客様の負担減となります。

使えるものは使う。
  

真空ポンプを分解するといろいろと症状があります。

油が固まってカスが一杯、

吸い込んだ異物が一杯、

オイル管理が良くとても内部はきれいな状態などなど

真空ポンプは空気も吸い込みますが掃除機と同じですいこんだごみはため込んでしまいます。

定期的にオイル交換してきれいな状態にしてあげるのが良いです。

ポンプも長持ち、真空度は良くなる。

良いことだらけ

ＯＨ時には汚くてもとれるすべて内部の汚れを掻きだしきれいにします。


  

私たちが保有する真空ポンプのＰＫＳ－０３０

アルバック社製のロータリーポンプ

これを本日使ってお客様のポンプと入れ替えを行わせていただきました。

お客様のポンプを工場に持ち帰りＯＨ後試運転を繰り返し、

再度入れ替えさせていただく作業です。

予備ポンプがあることによってお客様の機械を止める時間が短くなり、

更に工場で時間をかけて作業ができるので

品質の良い作業ができます。

そのほかにもＰＫＳ－０１６

ＧＬＤシリーズ

ＶＤシリーズ等

徳田製作所のポンプなども保有しています。

  

エリンコライボルト社のＳＶ２００のＯＨ中です。

ベーン式のロータリーポンプです。

ベーン式はどんどん空気を排気するために使われることが多いですね。

吸着させたり、真空パックにしたりなど用途は幅広いですね。

ブッシュ製ポンプも同じようなものがあります。

空冷なので冷却水を用意する必要ありません。

ただオイルが高温になるので放熱するために

熱交換機を備えています。

フィルターは筒状の物が多いです。


これがあるのでオイルミストトラップは不要になります。

ベーン。空気を掻く部品です。素材はいろいろあります。


アルミ、カーボン、ベークなど。

新品ベーン。


ベーンは減ってしまうので定期的に交換が必要です。  

真空ポンプには種類があります。

ＲＰ　油回転真空ポンプ。ロータリーポンプとも言います。

ＭＢＰ　ルーツポンプ。メカニカルブースターポンプ、通称メカブ。海藻みたい、、、

ＤＰ　油拡散ポンプ。ディフュージョンポンプ。拡散、デーピー、なんて呼んでいます。使っている会社によって違います。

その拡散の巻き替えを行わせていただきました。

銅パイプをはぎ取っています。

きれいにして




  

久々にブログをＵＰさせていただきます。

毎日のように作業はしていて、

ネタがなかったわけではないのですが、、、

ただ単純にサボっていました（笑

先日関西方面のお客様からご連絡いただき行かせていただきました。

ポンプからオイルが漏れるのでＯＨしてほしいとのご依頼

所有しているポンプと入れ替えさせていただき

オイル漏れを起こしているポンプを持ち帰り、漏れている個所を確認しました。

メカシールがかけています。





これでは、、、

更に水回りもつまりかけていました。


動かし始めて１０年とのこと、

危うく詰まるところでした。

できれば２年で１度のＯＨをお勧めします。

部品が来たらすべてＯＨします。